1. 光通信模塊固晶治具應用:用于制造光收發模塊(如TO-CAN、BOX、COC等),封裝激光器(LD)、探測器(PD)、調制器(EML)等核心芯片。
核心要求:
超高精度:光通信對芯片的位置和角度(六自由度)要求極其苛刻,常需亞微米級(±1μm)定位精度,以確保光路對準。
材料穩定性:殷鋼(Invar)或碳化硅(SiC)陶瓷,確保在固晶加熱過程中幾乎不變形。
復雜結構:治具常帶有精密臺階、斜面和定位孔,以適應復雜的管殼/底座結構。
潔凈度:工作環境要求高,治具需易于清潔,防塵防靜電。
2. 傳感器固晶載具應用:用于MEMS傳感器(如加速度計、陀螺儀)、紅外傳感器、壓力傳感器等芯片的封裝。
核心要求:
多品種、小批量:傳感器種類繁多,治具多為定制化,要求廠家響應快、柔性生產能力高。
特殊處理:傳感器芯片可能對靜電敏感(ESD),治具需要做防靜電涂層處理。
應對敏感結構:MEMS芯片可能有懸空結構,治具設計需避免壓傷芯片,有時需要非接觸式的真空吸附固定。
材料多樣:根據精度要求,可采用鋁合金(陽極氧化)、不銹鋼或殷鋼。
3. 陶瓷基板固晶治具應用:用于承載氧化鋁(Al₂O₃)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si₃N₄)等陶瓷基板,常見于大功率LED、激光器、功率模塊(IPM)、汽車電子等領域。
核心要求:
高硬度、高耐磨:陶瓷基板本身非常堅硬,且邊緣鋒利,治具材料必須耐磨(如采用模具鋼、高強度不銹鋼),否則使用壽命短。
耐高溫:陶瓷基板常采用共晶焊(高溫燒結)工藝,治具需在300℃以上高溫中保持穩定,殷鋼是常見的選擇。
定位:基板通常小而脆,治具的腔體尺寸和定位銷精度要求高,防止基板移動或破裂。
真空吸附:廣泛采用真空吸附來固定平整的陶瓷基板。
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