FH413A05三軸加速度傳感器說明書 MEMS三軸加速度傳感器
一、簡介
FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現自檢測。
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統、地震監控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。
二、原理
FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克 服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊 相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結 構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。
三、技術條件
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性能
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FH413A性能
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Ax ，Ay ，Az
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測量范圍（ g）
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±2
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±4
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±5
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± 10
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±20
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±40
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靈敏度（mV/g）
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1000±50
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500±50
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400±30
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200±20
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100±10
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50±5
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帶寬（10%，Hz）
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0～500
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零 g 偏置電壓（V）
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2.5±0.05
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滿量程輸出（V）
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0.5-4.5
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零偏溫度變化（mg/ °C）
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±0.2~ ±0.8
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交叉軸影響（%）
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≤2
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非線性度(％F.S)
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≤0.1
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噪聲密度（ug/ √Hz）
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20~80
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供電要求
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供電電壓(VDC)
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12±0.5
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輸入電流（mA）
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≤20
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工作環境
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